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熱式質量流量計

熱式質量流量計

熱式質量流量計は、センサ部が2本のシースパイプ形状のセンサで構成され、それぞれが流速センサと温度センサの役割を持っています。流速センサを周囲温度と一定の温度差になるよう制御(加熱)します。流体が流れ流量センサから奪われる熱量は、質量流量と相関があるため、奪われた熱量を補うために流量センサへ加えられる電力量から質量流量を算出することができます。流量レンジが広く、温圧補正なしに直接質量流量を計測できる特長があり、省エネ達成のための管理用流量計として多くの実績があります。