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PRODUCTS
形式:FHA, FHB
液体
気体
蒸気
気体の流量を質量ベースで正確に測定 / コントロールします。
FHA シリーズは、高精度、かつコンパクトな気体流量計です。
FHBシリーズは、FHA シリーズにコントロールバルブ(電磁式)を一体化した流量コントローラです。
これらは、表示器・設定器等を内蔵したリードアウトユニット(ROU)と組み合わせることによって、簡易な流量計測/制御システムを構成することができます。
各種ガスの供給システム、ガスミキシングプロセス、パイロットプラント・半導体製造プロセス・研究所などで使用されるガスの流量計測、およびコントロールに最適です。
●5NCCM(mL/min〔normal〕)〜 500NLM(L/min〔normal〕)までの広い流量範囲をカバーします。
●ラミナーフローエレメントにより、最適なフルスケール調整が可能です。
●高腐蝕性ガス以外のほとんどのガス体に適用可能です。
●応答性が優れています。
●マスフローコントローラに使われているコントロールバルブは、
ノルマルクローズタイプの電磁式ですので応答性がよく、安全に使用できます。
●リードアウトユニットとの組み合わせにより、多様なアプリケーションに対応できます。
空気
窒素
水素
都市ガス
天然ガス
エチレンガス
その他
機種 | FHA(マスフローメータ) | FHB(マスフローコントローラ) | |
---|---|---|---|
接続 | くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など | ||
流量 | 最小 | 0.1mL/min(normal)※1 | |
最大 | 500L/min(normal)※1 | ||
ターンダウン | 1:50 | - | |
コントロール範囲 | - | 2~100% | |
使用温度範囲 | -10~+70℃ | ||
最高使用圧力 | 39.2MPa | 19.6MPa※2 | |
精度 | フルスケールの±1%(実ガス校正時) | ||
電源 | ±15VDC | ||
本体材料 | SUS316 | ||
出力 | アナログ | ||
構造 | 非防爆、IP20 | ||
適用流体 | 原則として化学式で表わされる気体 |
※1:空気での値(空気以外で使用する場合は、コンバージョンファクタによる換算が必要)
※2:流量により異なる
※ダウンロードには、アンケートのご入力・認証が必要となります。
FHA、FHBシリーズ
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