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MASFLO-OVALⅡ 非防爆

形式:FHA, FHB

液体

気体

蒸気

MASFLO-OVALⅡ 非防爆_熱式質量流量計

MASFLO-OVALⅡ 非防爆_熱式質量流量計

気体の流量を質量ベースで正確に測定 / コントロールします。
FHA シリーズは、高精度、かつコンパクトな気体流量計です。
FHBシリーズは、FHA シリーズにコントロールバルブ(電磁式)を一体化した流量コントローラです。
これらは、表示器・設定器等を内蔵したリードアウトユニット(ROU)と組み合わせることによって、簡易な流量計測/制御システムを構成することができます。
各種ガスの供給システム、ガスミキシングプロセス、パイロットプラント・半導体製造プロセス・研究所などで使用されるガスの流量計測、およびコントロールに最適です。

  • 微小・極微小
特長
製品仕様
ドキュメント

主な特長

●5NCCM(mL/min〔normal〕)〜 500NLM(L/min〔normal〕)までの広い流量範囲をカバーします。
●ラミナーフローエレメントにより、最適なフルスケール調整が可能です。
●高腐蝕性ガス以外のほとんどのガス体に適用可能です。
●応答性が優れています。
●マスフローコントローラに使われているコントロールバルブは、
 ノルマルクローズタイプの電磁式ですので応答性がよく、安全に使用できます。
●リードアウトユニットとの組み合わせにより、多様なアプリケーションに対応できます。

適用流体

空気

窒素

水素

都市ガス

天然ガス

エチレンガス

その他

主な仕様

機種 FHA(マスフローメータ) FHB(マスフローコントローラ)
接続 くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など
流量 最小 0.1mL/min(normal)※1
最大 500L/min(normal)※1
ターンダウン 1:50
コントロール範囲 2~100%
使用温度範囲 -10~+70℃
最高使用圧力 39.2MPa 19.6MPa※2
精度 フルスケールの±1%(実ガス校正時)
電源 ±15VDC
本体材料 SUS316
出力 アナログ
構造 非防爆、IP20
適用流体 原則として化学式で表わされる気体

※1:空気での値(空気以外で使用する場合は、コンバージョンファクタによる換算が必要)

※2:流量により異なる

一般仕様書

※ダウンロードには、アンケートのご入力・認証が必要となります。

GBF111-3

FHA、FHBシリーズ

特長
製品仕様
ドキュメント

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