PRODUCTS
形式：FHA, FHB
液体
気体
蒸気
気体の流量を質量ベースで正確に測定 / コントロールします。
FHA シリーズは、高精度、かつコンパクトな気体流量計です。
FHBシリーズは、FHA シリーズにコントロールバルブ（電磁式）を一体化した流量コントローラです。
これらは、表示器・設定器等を内蔵したリードアウトユニット（ROU）と組み合わせることによって、簡易な流量計測／制御システムを構成することができます。
各種ガスの供給システム、ガスミキシングプロセス、パイロットプラント・半導体製造プロセス・研究所などで使用されるガスの流量計測、およびコントロールに最適です。
●5NCCM（mL/min〔normal〕）〜 500NLM（L/min〔normal〕）までの広い流量範囲をカバーします。
●ラミナーフローエレメントにより、最適なフルスケール調整が可能です。
●高腐蝕性ガス以外のほとんどのガス体に適用可能です。
●応答性が優れています。
●マスフローコントローラに使われているコントロールバルブは、
ノルマルクローズタイプの電磁式ですので応答性がよく、安全に使用できます。
●リードアウトユニットとの組み合わせにより、多様なアプリケーションに対応できます。
空気
窒素
水素
都市ガス
天然ガス
エチレンガス
その他
| 機種 | FHA（マスフローメータ） | FHB（マスフローコントローラ） | |
|---|---|---|---|
| 接続 | くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など | ||
| 流量 | 最小 | 0.1mL/min(normal)※1 | |
| 最大 | 500Ｌ/min(normal)※1 | ||
| ターンダウン | 1：50 | － | |
| コントロール範囲 | － | 2～100％ | |
| 使用温度範囲 | －10～＋70℃ | ||
| 最高使用圧力 | 39.2MPa | 19.6MPa※2 | |
| 精度 | フルスケールの±1％（実ガス校正時） | ||
| 電源 | ±15VDC | ||
| 本体材料 | SUS316 | ||
| 出力 | アナログ | ||
| 構造 | 非防爆、IP20 | ||
| 適用流体 | 原則として化学式で表わされる気体 | ||
※1：空気での値（空気以外で使用する場合は、コンバージョンファクタによる換算が必要）
※2：流量により異なる
※ダウンロードには、アンケートのご入力・認証が必要となります。
FHA、FHBシリーズ
INQUIRY
Amazon
