流量計とシステムソリューションのオーバル

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MASFLO-OVALⅡ 防爆形

形式:FHC, FHD

液体

気体

蒸気

汎用形気体用質量流量計FHAシリーズの水素防爆構造モデルです。
同様に、汎用形気体用質量流量コントローラFHBシリーズのコントロールバルブ部を水素防爆構造としたものがFHDシリーズです。
これらを組み合わせることによって、防爆形気体用質量流量コントローラを構成できます。各種ガスの供給システム、ガスミキシングプロセス、パイロットプラント、半導体製造プロセス、研究所などの危険場所におけるガスの流量計測、およびコントロールに最適です。

  • 防爆
  • 微小・極微小
特長
製品仕様
ドキュメント

主な特長

●水素ガスにも適用可能な JIS 防爆構造“d3aG4”タイプです。
●5NCCM(mL/min〔norma1〕)~ 500NLM(L/min〔norma1〕)までの広い流量範囲をカバーします。
 (コントローラとしては、100NLMまで)
●ラミナーフローエレメントにより、最適なフルスケール調整が可能です。
●真空から最高 39.2MPa まで、広範な使用圧力に対応します。
●高腐蝕性ガス以外のほとんどのガス体に適用可能です。
●応答性が優れています。
●コントロールバルブは、ノルマルクローズタイプの電磁式ですので、応答性が良く安全に使用できます。
●リードアウトユニットとの組み合わせにより、多様なアプリケーションに対応できます。

適用流体

空気

窒素

都市ガス

水素

天然ガス

エチレンガス

その他

主な仕様

機種 FHC(マスフローメータ) FHC+FHD(マスフローメータ+コントローラ)
接続 くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など
流量 最小 0.1mL/min(normal)※1
最大 500L/min(normal)※1 100L/min(normal)※1
ターンダウン 1:50
コントロール範囲 2~100%
使用温度範囲 -10~+50℃
最高使用圧力 39.2MPa
精度 フルスケールの±1%(実ガス校正時)
電源 ±15VDC
本体材料 ステンレス
出力 アナログ
構造 防爆、IP65相当
適用流体 原則として化学式で表わされる気体

※1:空気での値(空気以外で使用する場合は、コンバージョンファクタによる換算が必要)

一般仕様書

※ダウンロードには、アンケートのご入力・認証が必要となります。

GBF112-3

FHC、FHDシリーズ(防爆形)

特長
製品仕様
ドキュメント

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