PRODUCTS
形式：FHC, FHD
液体
気体
蒸気
汎用形気体用質量流量計FHAシリーズの水素防爆構造モデルです。
同様に、汎用形気体用質量流量コントローラFHBシリーズのコントロールバルブ部を水素防爆構造としたものがFHDシリーズです。
これらを組み合わせることによって、防爆形気体用質量流量コントローラを構成できます。各種ガスの供給システム、ガスミキシングプロセス、パイロットプラント、半導体製造プロセス、研究所などの危険場所におけるガスの流量計測､およびコントロールに最適です。
●水素ガスにも適用可能な JIS 防爆構造“d3aG4”タイプです。
●5NCCM（mL/min〔normal〕）～ 500NLM（L/min〔normal〕）までの広い流量範囲をカバーします。
（コントローラとしては、100NLMまで）
●ラミナーフローエレメントにより、最適なフルスケール調整が可能です。
●真空から最高 39.2MPa まで､広範な使用圧力に対応します。
●高腐蝕性ガス以外のほとんどのガス体に適用可能です。
●応答性が優れています。
●コントロールバルブは、ノルマルクローズタイプの電磁式ですので、応答性が良く安全に使用できます。
●リードアウトユニットとの組み合わせにより、多様なアプリケーションに対応できます。
空気
窒素
水素
都市ガス
天然ガス
エチレンガス
その他
| 機種 | FHC（マスフローメータ） | FHC＋FHD（マスフローメータ＋コントローラ） | |
|---|---|---|---|
| 接続 | くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など | ||
| 流量 | 最小 | 0.1mL/min(normal)※1 | |
| 最大 | 500Ｌ/min(normal)※1 | 100Ｌ/min(normal)※1 | |
| ターンダウン | 1：50 | － | |
| コントロール範囲 | － | 2～100％ | |
| 使用温度範囲 | －10～＋50℃ | ||
| 最高使用圧力 | 39.2MPa | ||
| 精度 | フルスケールの±1％（実ガス校正時） | ||
| 電源 | ±15VDC | ||
| 本体材料 | ステンレス | ||
| 出力 | アナログ | ||
| 構造 | 防爆、IP65相当 | ||
| 適用流体 | 原則として化学式で表わされる気体 | ||
※1：空気での値（空気以外で使用する場合は、コンバージョンファクタによる換算が必要）
※ダウンロードには、アンケートのご入力・認証が必要となります。
FHC、FHDシリーズ（防爆形）
INQUIRY
Amazon
