半導体をはじめ、様々なアプリケーションで高精度計測
オーバルコリオリ流量計のご紹介

豊富なラインアップ！
ご要望に合ったコリオリ流量計をご提供します！

■ALTImass Ⅱシリーズの特長

●オーバル独自の計測アルゴリズムによる高精度計測

●充実したメンテナンス機能

・ゼロ点調整機能（前面キー操作のステータス入力に加え、変換器に押しボタンを完備）
・エラーロギング機能
・時計機能（電源投入からの累積時間を変換器内に保存）
・工場出荷パラメータのリロード機能
・表示ユニットへのパラメータバックアップ機能

●豊富な自己診断機能

・流量計のステータス状態を 2 色のバックライト（白、オレンジ）と 2 つの LED（赤・緑）で表現
・入力信号（センサー）の断線チェック
・配管振動チェック
・変換器の温度監視

●表示部は大画面で、現場での設定変更が可能

●高いゼロ点安定性

●様々なアプリケーションに対応する豊富なラインアップ

■CoriMateⅡの特長

●廉価形コリオリ流量計
●一体形、分離形構造の選択が可能
●設置、取扱いが簡単
●コンパクト設計のため、装置搭載に最適
●一本チューブのため、洗浄性に優れた構造
●流量範囲：2.5～2700g/min（3形式）

■微小・極微小流量計測に最適なオーバル コリオリ流量計の特長

●コンパクト設計のため、装置搭載に最適
●ポンプやバルブと組み合わせることで、比例注入や流量制御に最適
●一本チューブのため、洗浄性に優れた構造
●可動部がないため、スラリー計測に最適
●弊社で独自開発した三次モード振動式により、耐震性を向上

■半導体装置向けの納入実績も豊富

オーバルのコリオリ流量計は半導体製造プロセスに適した微小・極微小流量を高精度に計測することができます。
装置搭載に適したコンパクトタイプもラインアップしており、半導体製造装置をはじめ、装置搭載への納入実績も豊富です。

■カタログ

■Youtubeでもご紹介！

YouTubeにて、コリオリ流量計の紹介動画を掲載しております。
より具体的に説明されておりますので、是非ご覧ください。

　　　コリオリ流量計のご紹介

　　　      オーバルのYouTubeチャンネル