熱式質量流量計

マスフローモニタ

形式：TF1015, TF1020, TF1025, TH1040, TF1050

エアー、窒素などのユーティリティガスの微少流量〔呼び径15mm：10L/min（normal）〜〕を確実に計測する省エネ管理用流量計です。
例えばエアー配管等に組み付け、エアーリーク量を計測し、金額に換算して表わすことにより、エアーの使用量やムダなエアーの消費量がデジタルに把握でき、省エネ対策がより効率的に進みます。
小口径、省エネ管理用流量計として必須な条件「廉価」を実現しました。

• ユーティリティ
• 省エネ対応
• 廉価
• 微小・極微小

高精度形マスフローモニタ（都市ガス計測対応）

形式：TF

廉価形都市ガス管理用流量計です。
計測原理が熱式のため、温度、圧力補正することなく直接質量流量を計測します。
省エネ対策として、炉、ボイラ、空調設備などの都市ガスの使用量管理に最適です。

• ユーティリティ
• 省エネ対応
• 高機能・高性能
• 廉価

気体用マスフローメータ

形式：454FTB, 504FTB, 534FTB, 2444, 2445

気体用の熱式質量流量計です。
加熱したセンサから流れによって奪われる熱量が質量流量と相関があることから流量を計測します。
本器は、配管内に挿入されたセンサにより管内の代表流量を検出して全流量を測定しています。

• 省エネ対応
• 高温・低温対応製品
• 防爆

気体用マスフローメータ（マルチポイント挿入形）

形式：K-BAR

気体用の熱式質量流量計です。
特に大型ダクトまたはスタックで直管長がとれず均一な流速分布でない場合に威力を発揮します。
１台の K-BAR には最大４つの流速センサを有し、1 台または複数の K-BAR からの信号をマスフローコンピュータで平均流速演算させることで、再現性の高い質量流量計測を可能とします。

• 省エネ対応
• 高機能・高性能
• 高温・低温対応製品
• 防爆

MASFLO-OVALⅡ　非防爆

形式：FHA, FHB

気体の流量を質量ベースで正確に測定 / コントロールします。
FHA シリーズは、高精度、かつコンパクトな気体流量計です。
FHBシリーズは、FHA シリーズにコントロールバルブ（電磁式）を一体化した流量コントローラです。
これらは、表示器・設定器等を内蔵したリードアウトユニット（ROU）と組み合わせることによって、簡易な流量計測／制御システムを構成することができます。
各種ガスの供給システム、ガスミキシングプロセス、パイロットプラント・半導体製造プロセス・研究所などで使用されるガスの流量計測、およびコントロールに最適です。

• 微小・極微小

MASFLO-OVALⅡ　防爆形

形式：FHC, FHD

汎用形気体用質量流量計FHAシリーズの水素防爆構造モデルです。
同様に、汎用形気体用質量流量コントローラFHBシリーズのコントロールバルブ部を水素防爆構造としたものがFHDシリーズです。
これらを組み合わせることによって、防爆形気体用質量流量コントローラを構成できます。各種ガスの供給システム、ガスミキシングプロセス、パイロットプラント、半導体製造プロセス、研究所などの危険場所におけるガスの流量計測､およびコントロールに最適です。

• 防爆
• 微小・極微小

リードアウトユニット　ROU28S

形式：ROU28S

熱式質量流量計 MASFLO-OVALⅡ用の受信器です。
流量計測・制御に必要な各種機能を専用ユニットとしてまとめ、簡易かつ経済的に流量計測・制御システムの構成を可能にする受信器シリーズです。