熱式質量流量計・コントローラ

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FHA、FHB/気体用・汎用形

FHA、FHB/気体用・汎用形
概 要

各種気体を計測またはコントロールができる熱式質量流量計/コントローラです。各種気体の供給システム、ガスミキシングプロセス、パイロットプラント・半導体製造プロセス・研究所などで使用されるガスの流量計測、および流量コントロールに最適です。

特 長

温度・圧力補正なしで、直接ノルマル換算(0℃、1atm)した流量を計測できる

適用可能な気体の種類が多い

混合ガスも計測可能

主な仕様
機種 FHA(マスフローメータ) FHB(マスフローコントローラ)
接続 くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など
流量 最小 0.1mL/min(normal) ※1
最大 500L/min(normal) ※1
ターンダウン 1:50
コントロール範囲 2~100%
使用温度範囲 -10~+70℃
最高使用圧力 39.2MPa 19.6MPa ※2
精度 フルスケールの±1%(実ガス校正時)
電源 ±15VDC
本体材料 SUS316
出力 アナログ
構造 非防爆、IP20
適用流体 原則として化学式で表わされる気体

※1:空気での値。空気以外で使用する場合は、コンバージョンファクタによる換算が必要です。
※2:流量により異なる。

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